本报讯(段同刚、徐国辉)近日,晶龙集团技术创新实现新突破,完成国内首次16英寸单晶硅棒的切断工作,为以后开展大直径硅棒的切断任务做好了技术储备。
据了解,一般6英寸和8英寸的硅棒切断在内圆切断机上就可完成,而16英寸硅棒因为直径大、重量大不易固定,对切断硅片质量要求也比较高,如果硅片出现崩边将造成很大的经济损失。晶龙集团利用自己的独特技术优势和人才优势迅速展开技术攻关,研究设计出了针对16英寸硅棒固定的方法。他们量身定做了专用模具,并用一种特殊的粘料粘接硅棒,使单晶在加工时能够保持平衡稳定,切断后的硅片无崩边、无刀痕,表面平整光滑。
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